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去离子水定义
去离子水（deionized water）是指除去了呈离子形式杂质后的水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。在半导体行业中，去离子水被称为“超水”或是“水”。
去离子水分类
通常去离子水可以分为4类：
A类:去离子水只要求将水中离子去除一大部分，使水得以净化，种类去离子水电导率通常在200-10μs；
B类:去离子水电导率通常在1-10μs，属于食品级别；
C类:去离子水电导率通常在0.1-0.9μs，属于精细工业级别；
D类:去离子水电导率通常在0.07μs以上，属于电子级别。
